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A.1. 紅寶石標(biāo)準(zhǔn)球 表面粗粒度Ra不大于0.05μm；直徑和形狀誤差經(jīng)過校準(zhǔn)，形狀誤差MPE：1.0μm，圓度≤1μm，圓度直徑不應(yīng)大于X射線三維尺寸測(cè)量機(jī)測(cè)量空間對(duì)角線的20%。 校準(zhǔn)：探測(cè)形狀（PF）、尺寸誤差（Ps）。 A.2. 多球標(biāo)準(zhǔn)器 最小球心距小于30 mm；最大球心距大于 X 射線三維尺寸測(cè)量機(jī)測(cè)試位置空間對(duì)角線長度的 66%，其校準(zhǔn)結(jié)果的擴(kuò)展不確定度 U≤1μm，k=2。校準(zhǔn)：長度測(cè)量誤差(E)。圖A.1 紅寶石標(biāo)準(zhǔn)球結(jié)構(gòu)圖A.3. 校準(zhǔn)設(shè)備 主要校準(zhǔn)設(shè)備可選用多種類型材料制成，推薦使用紅寶石。支承球的圓棒可采用低密度材料制成，應(yīng)避免使用對(duì) X 射線具有強(qiáng)烈吸收能力材料，如鋼鐵等。

A.4. 校準(zhǔn)規(guī)范 JJF0022-2023 X 射線三維尺寸測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范，適用于具有三維幾何尺寸測(cè)量功能的線陣掃描方式和錐束掃描方式的 X 射線三維尺寸測(cè)量機(jī)的校準(zhǔn)。

A.5. 探測(cè)形狀誤差 1、選定量程內(nèi)的任意兩個(gè)放大倍率，兩個(gè)放大倍率需覆蓋 X 射線三維尺寸測(cè)量機(jī)量程的 66%。每個(gè)放大倍率下選取視窗內(nèi)上中下三個(gè)位置放置標(biāo)準(zhǔn)球，上下位置到視窗邊沿距離需要保證大于 5 mm，測(cè)量探測(cè)形狀誤差。 2、通過三維軟件，在每個(gè)測(cè)量位置球面均勻分布采集不小于 25 個(gè)測(cè)量點(diǎn)，探測(cè)采點(diǎn)分布，利用最小二乘法擬合高斯球面。計(jì)算各測(cè)量位置選定球冠表面數(shù)據(jù)點(diǎn)與球心之間的距離 Ri，其中最大距離 Rmax，i與最小距離 Rmin，i之差即為該位置的探測(cè)形狀誤差PF，i，按公式計(jì)算。取六個(gè)位置中的探測(cè)形狀誤差的最大值作為最終測(cè)量結(jié)果。

A.6. 探測(cè)尺寸誤差 放置位置與探測(cè)形狀誤差的放置位置一致。通過三維軟件在每個(gè)測(cè)量位置球面均勻分布采集不小于 25 個(gè)測(cè)量點(diǎn)，探測(cè)采點(diǎn)分布，利用最小二乘法擬合高斯球面。各測(cè)量位置高斯擬合球的直徑測(cè)量值與紅寶石球的直徑校準(zhǔn)值 之差即為該位置的探測(cè)尺寸誤差PS,i，按公式計(jì)算。取六個(gè)位置中的探測(cè)尺寸誤差的最大值作為最終測(cè)量結(jié)果。

A.7. 長度測(cè)量誤差 1、通過調(diào)整放大倍率設(shè)置旋轉(zhuǎn)臺(tái)的位置，將多球標(biāo)準(zhǔn)器安裝固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)中心，選擇兩個(gè)不同的放大倍率位置測(cè)量長度測(cè)量誤差。 2、測(cè)量空間七個(gè)方位，各個(gè)空間測(cè)量方位的分布，長度測(cè)量誤差的空間測(cè)量方位見圖，每個(gè)方位至少五組長度尺寸，共計(jì)不少于 35 組長度尺寸；每組測(cè)量三次，最小的長度尺寸不超過 30 mm；最大的一組長度尺寸大于測(cè)試位置空間對(duì)角線長度的66%。 3、使用 X 射線三維尺寸測(cè)量機(jī)掃描得到多球標(biāo)準(zhǔn)器的原始數(shù)據(jù)。 4、對(duì) X 射線三維尺寸測(cè)量機(jī)掃描后得到多球標(biāo)準(zhǔn)器的原始數(shù)據(jù)進(jìn)行重構(gòu)，對(duì) 35個(gè)球心距相關(guān)聯(lián)的球面進(jìn)行采集測(cè)量點(diǎn)并利用最小二乘法進(jìn)行擬合求出球心坐標(biāo)，計(jì)算球心距 Lk,1，Lk,2，Lk,3……Lk,34，Lk,35。則各個(gè)位置的長度測(cè)量誤差 Ei，按公式計(jì)算。